无偏二极管的制作方法

无偏二极管的制作方法

材料

材料有硅粉、铬粉、锗粉、磷、钨丝电极、载玻片、可伐合金、镍铬丝、金属锑、氩气和氮气等。

仪器

仪器有超净室、DMX-220A型真空镀膜机、显微镜。

制作方法

图1为二极管外观图，其中31是方形载玻片，作二极管的衬板；3是铬层；2是硅层；1是锑层。制作方法见图2，图中的34是镀膜机转轴；26是模板；32是载料圆盘；31是方形载玻片；33是弹性压片；23是蒸镀膜用电极。

图1 玻璃衬板无偏二极管外观结构图

铬层3制作过程为：将镍铬丝电极装在图2中的23处，将模板26和方形载玻片31放在载料圆盘上。抽真空至5×10-3Pa，将镍铬丝通电至发红，由于铬的升华特性，载玻片上便可得到一层好的铬膜层。?

硅层2制作过程为:将螺旋型电极装在图2中的23处，电极上涂硅粉，将模板26和镀好铬的载玻片31放在载料圆盘上。抽真空至5×10-3 Pa，再加1.5 Pa氮气，通电将电极加热使硅熔化，在铬层上便形成了一层硅膜。?

锑层1制作过程为：将螺旋电极装在图2中的23处，将锑块夹到螺旋电极的螺旋中，将模板26和镀好铬和硅的载玻片31放在载料圆盘上。抽真空至5×10-3Pa，将电极通电，便可得到镀锑层。二极管制作结束。

图2 无偏二极管制作方法图