红外线吸收式湿度传感器

利用水蒸气能吸收某波段的红外线制成的湿度传感器。60年代中期,美国气象局以波长为1.37微米和1.25微米的红外光分别作敏感光束和参考光束,研制成红外线吸收式湿度传感器。这种传感器采用装有λ0滤光片和λ 滤光片的旋转滤光片,当光源通过旋转滤光片时,轮流地选择波长为λ0和λ 的红外光束,两条光束通过被测湿度的样气抵达光敏元件,由于波长为λ0的光束不被水蒸气吸收,其光强仍为I0,波长为λ的光束被水蒸气部分吸收,光强衰减为I(图5)。采用朗伯-贝尔法测量: 式中I0为光源光强度,I为光敏元件处的光强度,ε为吸收系数,c为待测含水蒸气的浓度,l为光路长度。根据光强度的变化,将光敏元件上的信号处理后可获得正比于水蒸气浓度 c的电信号。红外线吸收式湿度传感器属非水分子亲和力型湿敏元件,测量精度和灵敏度较高,能够测量高温或密封场所的气体湿度,也能解决其他湿度传感器不能解决的大风速或通风孔道环境中的湿度测量问题。缺点是结构复杂,光路系统存在温度漂移现象。
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