气敏传感器是将气体成分和浓度转换为电信号的传感器。在现代社会的生产和生活中,会接触到各种各样的气体,需要进行检测和控制。如化工生产中气体成分的检测与控制,煤矿瓦斯浓度的检测与报警,环境污染情况的监测,煤气泄漏、火灾报警、燃烧情况的检测与控制等。
气敏传感器的种类较多,主要包括敏感气体种类的气敏传感器、敏感气体量的真空度气敏传感器,以及检测气体成分的气体成分传感器。前者主要有半导体气敏传感器和固体电解质气敏传感器,后者主要有高频成分传感器和光学成分传感器。由于半导体气敏传感器具有灵敏度高、响应快、使用寿命长和成本低等优点,所以应用很广。
半导体气敏传感器是利用半导体气敏元件同气体接触后,造成半导体性质的变化来检测特定气体的成分或者测量其浓度。
半导体气敏传感器大体上可以分为电阻式和非电阻式两类。电阻式半导体气敏传感器是利用气敏半导体材料,如氧化锡(SnQ2)、氧化锰(MnO2)等金属氧化物制成敏感元件,当它们吸收了可然气体的烟雾,如氢、一氧化碳、烷、醚、醉、苯以及天然气等时,会发生还原反应,放出热量,使元件温度相应增高,电阻发生变化。利用半导体材料的这种特性,将气体的成分和浓度变换成电信号,进行监测和报警。
图4.42所示为典型气敏元件的阻值一浓度关系。可以看出,元件对不同气体的敏感程度不同,如对乙醚、乙醉、氢气等具有较高的灵敏度,而对甲烷的灵敏度较低。一般地,随着气体的浓度增加,元件阻值明显增大,在一定范围内,呈线性关系。

气敏电阻的材料是金属氧化物半导体(分P型如氧化锡和N型如氧化钴),合成材料有时还渗入了催化剂, 如钯(Pd)、铂(Pt)、银(Ag)等。
气敏传感器主要用于工业上天然气、煤气、石油化工等部门的易燃、易爆、有毒、有害气体的监测、预报和自动控制, 气敏元件是以化学物质的成分为检测参数的化学敏感元件。
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