硅片厚薄不均的几点预防方法

　　硅片厚薄不均预防措施

　　1、TV偏大或偏小：根据客户要求片厚，计算出最佳成本/质量的槽距，钢线，碳化硅，砂浆密度。

　　2、TTV》15mm的硅片占比超过0.62%，属于异常。对于一次切割的单位，应增加导向条(部位不提供)，两次切割的单位最好把导轮(主辊)槽距改一下或第二次切割时砂浆流量增大500公斤/小时(5l/min)或多更换20公斤砂浆。

　　3、硅片的进刀处的进线端(角)偏薄或偏厚，应修改进刀时的砂浆流量

　　4、同一个硅片的厚度呈大-小-大-小分布的，应调整切割工艺程序。进给，线速，流量应均匀同步变化。

　　5、跳线引起的某刀硅片厚度异常，同一个片的厚度异常，不同片子的厚度偏差等，因通过加过滤网/过滤袋/振荡过滤器和切割前仔细过滤，没有跳线来消除。