MIM单元结构

MIM是由金属、绝缘体、金属三层薄膜组成的夹心结构。用于液晶显示的MIM结构如
图1所示，主要有两种： (1)图1(a)是比较常见的“T”形结构。这种结构的工艺过
程比较简单，早期研制的MIM基本是这种形式。但这种结构的MIM面积比较大，具有较大的
寄生电容，对提高对比度、改善其显示质量等不利。如果要减小其面积，就要求有大面积、
高分辩率的光刻设备。不仅增加了制作工艺的难度，成品率下降，还提高了成本，更不适合
实现大型显示。(2)图1(b)示出研制的侧向MIM结构，这种结构是在扫描线侧向形成