MEMS振荡器概述

　　MEMS振荡器实现方式也有多种，如利用MEMS技术实现谐振腔的传统MEMS振荡器、结合石英晶体技术的QMEMS振荡器、以及完全兼容半导体工艺的全硅MEMS振荡器，目前全硅MEMS振荡器发展趋势最好。

　　与传统石英相比，全硅MEMS振荡器不管从生产工艺还是组件设计结构上，都更符合现代电子产品的标准，也是对传统石英产品的升级换代。

　　全硅的MEMS振荡器技术，由两个芯片堆栈起来，如下图所示：

　　下方是驱动芯片，上方则是MEMS谐振器，以QFN IC封装方式完成。为与石英晶振竞争，通常封装尺寸以及焊接管脚与传统标准石英晶振的脚位完全兼容，可直接替代原来石英晶振。

　　MEMS振荡器市场分析

　　传统石英振荡器自诞生之日起，已经统治频率控制器件近60年，然而十几年前，随着第一颗硅MEMS振荡器的量产，局势逐渐改变了。石英振荡器受传统制造工艺的限制以及下游原材料（起振电路和基座）市场的垄断，性价比无法进一步提升。而全硅MEMS振荡器体积更小、更可靠、功耗更低，近年来随着封装技术的成熟，其生产成本更是已经低过石英振荡器。

　　MEMS振荡器已在许多应用领域包括计算机周边相关产品、消费电子、网通设备、通讯装置、车用电子、以及工业产品等，开始逐渐取代传统固定频率或可编程输出的石英振荡器。

　　根据调研机构的分析数据，2014年全球MEMS振荡器市场规模约为1.65亿美元，预计到2020年市场规模将达15亿美元，MEMS振荡器的年复合增长率将超过50％，成为时钟市场增长的主要推动力。

　　中国作为全球最大的电子产品生产基地，消耗了全球四分之一的MEMS器件，吸引了全球的目光。但目前中国MEMS振荡器仍依赖进口。2014年，中国MEMS振荡器市场规模约为0.34亿美元，预计到2020年市场规模将达3.5亿美元。