人工智能现在的发展是很快的，应用领域也是很丰富的，生活、医疗等都可以看到人工智能科技的影子，比如神经检测这一块儿，可以运用meas压力传感器来进行探测的，理想情况下，神经探针阵列应具有良好的生物相容性、具有高信噪比的高密度电极、通过柔性电缆实现的互连功能、高度集成的电子架构，以及集成型微执行器，从而驱动电极柄实现神经元运动跟踪。

人类的大脑通过其神经元活动来协调我们的感知、想法和行动。神经科学家正努力通过采用能够在行为期间以单神经元和单峰分辨率分离、识别和操纵神经元的方法来理解大脑的功能。神经探针不仅在细胞外记录、脑机接口（BMI）和深部脑刺激（DBS）方面取得了成功，而且在脑电图、神经元功能恢复和脑部疾病研究等一些新的应用中也成绩斐然。

为了能够在大脑的多个区域内大规模记录单个神经元，神经探针需要高密度、大数量的电极。遗憾的是，最新的高密度CMOS神经探针有一个很大的“柄”，它是探针的一部分，会植入到大脑区域。这个“柄”部分需要做到尽可能薄，以避免干扰或损害正常的大脑功能，眼下，它们还达不到神经科学家希望的那么小。另外，目前的电子设计架构也不是最佳。探针设计由大量小型有源电极组成，用于放大和缓冲神经信号。CMOS像素放大器（PA）位于电极下方极小的空间内，由于空间不足，信号处理被迫在探针的底座完成。想象一下这种非理想信号路由中的噪声问题，理想情况下希望信号处理紧挨着PA进行。

微型光机械meas压力传感器，我们从meas压力传感器设计开始。MEMS压力传感器有电容式和压电式，它们体积小，性能相当好。再就是光纤传感器，它们具有超敏感性和低噪声特性，但在集成度较低的设计架构中使用最佳。

现在，我们将上述两种传感器特性合并为一个集成传感器，即微型光机械meas压力传感器。与压电和电容传感器设计相比，这种器件可带来更高的灵敏度和更好的噪声特性，但封装尺寸却相同。