在人工智能、大数据以及物联网的进一步发展之下，数据的收集显得尤为重要，而与收集数据息息相关的传感器市场将更加广阔。尤其是物联网的发展，传感器产品需求大幅增加，重心也逐渐转向技术含量较高的MEMS传感器领域。

MEMS的全称是微型电子机械系统，利用传统的半导体工艺和材料，集微传感器、微执行器、微机械机构、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。具有小体积、低成本、集成化等特点。

在众多MEMS传感器中，MEMS气体传感器无疑是这个领域冉冉升起的新星。除了智能手机，MEMS气体传感器将会在可穿戴等消费电子，安全驾驶、智能工厂、智慧仓储、智能家居、环境监测、智能消防、智慧医疗等物联网领域广泛应用。

MEMS气体传感器在实际应用中有诸多注意事项，今天我们谈下MEMS半导体气体传感器在使用过程中常见的失效情况：

暴露于可挥发性硅化合物蒸气中

传感器要避免暴露于硅粘接剂、发胶、硅橡胶、腻子或其它存在可挥发性硅化合物的场所。如果传感器的表面吸附了硅化合物蒸气，传感器的敏感材料会被硅化合物分解形成的二氧化硅包裹，抑制传感器的敏感性，并且不可恢复。

高腐蚀性的环境

传感器暴露在高浓度的腐蚀性气体（如H2S，SOX，Cl2，HCl等）中，不仅会引起加热材料及传感器引线的腐蚀或破坏，并会引起敏感材料性能发生不可逆的劣变。

碱、碱金属盐、卤素的污染

传感器被碱金属尤其是盐水喷雾污染后，或暴露在卤素如氟利昂中，也会引起性能劣变。

接触到水

溅上水或浸到水中会造成传感器敏感特性下降。

结冰

水在传感器敏感材料表面结冰会导致敏感层碎裂而丧失敏感特性。

施加电压过高

如果给传感器或加热器施加的电压高于规定值，即使传感器没有受到物理损坏或破坏，也会造成引线和/或加热器损坏，并引起传感器敏感特性下降。

电压加错管脚

如果给传感器或加热和信号管脚电压加错，也会造成引线和/或加热器损坏，并引起传感器敏感特性下降。

凝结水

在室内使用条件下，轻微凝结水对传感器性能会产生轻微影响。但是，如果水凝结在敏感层表面并保持一段时间，传感器特性则会下降。

处于高浓度气体中

无论传感器是否通电，在高浓度气体中长期放置，均会影响传感器特性。如用打火机气直接喷向传感器，会对传感器造成极大损害。

长期贮存

传感器在不通电情况下长时间贮存，其电阻会产生可逆性漂移，这种漂移与贮存环境有关。传感器应贮存在不含可挥发性硅化合物的密封袋中。经长期贮存的传感器，在使用前需要更长时间通电以使其达到稳定。

长期暴露在极端环境中

无论传感器是否通电，长时间暴露在极端条件下，如高湿、高温或高污染等极端条件，传感器性能将受到严重影响。

振动

频繁、过度振动会导致传感器内部引线产生共振而断裂。在运输途中及组装线上使用气动改锥/超声波焊接机会产生此类振动。

冲击

如果传感器受到强烈冲击或跌落会导致其引线断裂。

焊接温度

焊接温度过高（超过250℃），引起传感器气敏材料变化；传感器气敏特性会降低或者改变。

助焊剂

使用含氯最少的松香助焊剂，如果助焊剂含氯较高，会引起传感器材料活性降低。
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