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何时使用MEMS器件?

2023-08-31 02:09:02

  MEMS技术可以被结合到各种各样的电子部件中。生产这些组件的公司大概会认为MEMS实施优于MEMS版本问世之前所使用的实施方式。很难验证足够多的这些主张来证明按照“MEMS器件比非MEMS器件具有明显更好的性能”这样的概括说法是合理的。但是,我的总体印象是,在许多情况下,MEMS确实是向前迈出的重要一步,如果性能或易于实现是您设计中的优先事项,那么我将首先关注MEMS器件。

  在电气工程领域,MEMS技术已被分为四个产品类别:

  音讯

  感测器

  开关

  震荡器

  可能有些不常见的产品不属于这些类别之一。如果您知道我忽略的某些内容,请随时在评论中告知我们。

  音讯:在音频领域,我们有MEMS麦克风和MEMS扬声器。下图传达了MEMS麦克风的基本特性。

  

  感测器:传感器是MEMS技术的主要应用。有MEMS陀螺仪,倾角仪,加速度计,流量传感器,气体传感器,压力传感器和磁场传感器。

  开关:在我看来,电控开关是MEMS技术特别有趣的应用。我在本文中介绍过的ADGM1004易于控制,可在0Hz至10GHz以上的信号频率下工作,在关断状态下的泄漏电流小于1nA,提供的驱动寿命至少为一个十亿个周期。

  震荡器:将微机谐振器与激励电路和维持电路相结合会产生MEMS振荡器。如果您想研究实际的MEMS组件,可以查阅2017年的一篇新闻文章,其中我讨论了SiTime的SiT2024BMEMS振荡器。

  

  图由SiTime提供。

  我在MEMS振荡器方面经验不足,但我认为它们可能是苛刻应用中的绝佳选择。在上述有关SiT2024B的文章中,我指出,基于SiTime的信息,MEMS振荡器可以大大优于石英振荡器。