带频率响应补偿的MEMS振动分析仪电路图

　　电路功能与优势

　　图1所示电路是一款高线性度、低噪声、宽带宽振动检测解决方案。该方案适用于要求具有宽动态范围（±70 g、±250 g 或±500 g）以及平坦频率响应（从直流到22 kHz）的应用。

　　该电路提供适合进行轴承分析、引擎监控以及振动检测的低功耗解决方案。

　　享有ADI专利的第五代iMEMs®工艺让 ADXL001加速度计拥有从±70 g扩展至±500 g的扩展动态范围，且带宽为22 kHz。

　　AD8606是一款精密、低噪声、双通道运算放大器，用于创建模拟双二阶滤波器，可使加速度计的输出频率响应较为平和。

　　ADXL001输出电压经低功耗、单通道12位SAR ADC AD7476 转换为数字字。

　　图1. 单轴振动分析系统（原理示意图：未显示去耦和所有连接）

　　电路描述

　　加速度计输出特性

　　ADXL001经测试的额定电源电压为3.3 V和5 V。虽然该器件可采用3 V至6 V范围内的任意电源电压工作，但采用5 V电源可获得最优整体性能。

　　输出电压灵敏度与电源电压成比例。采用3.3 V电源时，标称输出灵敏度为16 mV/g。采用5 V电源时，灵敏度为24.2 mV/g。

　　0 g输出电平亦为比例电平，标称值为 VDD/2。

　　只要1 MHz内部时钟频率上不存在噪声，ADXL001就只需要一个0.1μF去耦电容。如果需要，可以包含较大的大容量电容（1μF至10μF）或氧化铁磁珠

　　加速度计物理操作

　　ADXL001采用绝缘硅片（SOI） MEMS技术制造，具有机械耦合但电气隔离的差分检测单元。图2显示其中一个差分传感器单元模块的简化图。每个传感器模块均集成数个差分电容单元。每一单元都以器件层上的固定板以及传感器框架上的活动板组成。传感器框架移位将改变差分电容。片内电路测量电容变化，并将其转换为输出电压。

　　图2. 传感器加速时的简化试图

　　SOI器件层的传感器经过微加工处理。沟道隔离用于对差分检测元件进行电气隔离但机械耦合处理。单晶硅弹簧悬挂于晶圆处理结构之上，提供加速度的力量阻力。

　　ADXL001 是一款x轴加速度和振动检测器件，向引脚8标记处振动时，产生趋正输出电压，如图3所示。

　　图3. ADXL001 XOUT 电压随正X轴方向的加速度增加而增加