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MEMS的下一步目标让移动设备也拥有嗅觉

2022-12-15 02:02:31

MEMS的下一步目标在于缩小可用于分析气味的电子仪器,如质谱仪以及几乎能嗅出任何物质的电子鼻。透过Honeywell公司开发出的首款微型 MEMS真空泵,其尺寸小到足以塞进一支手机中,可望让下一代智能手机等移动设备也能拥有“嗅觉”。

Honeywell最初开发这款微型 MEMS 真空泵主要针对军用的微型无人侦察机,使其得以用于侦测化学与生物制剂。如今,这款仅1美分钱币大小的MEMS传感器正着眼于扩展应用领域至工业、医疗与消费市场。

Honeywell的微型MEMS真空泵利用像涡轮的叶片实现手持式分析仪

“我们已经开发出世界上最小的真空泵,这是一款能实现电子分析仪新型态的独特技术,”Honeywell公司ACS Labs业务单位首席研究科学家Wei Yang指出,“近年来有很多人都试图缩小电子分析仪,但这种真空泵是最近的一项突破。先前最小的模型约为砖块大小,功耗为100W,如今,我们开发出的这款真空泵只有1美分硬币大小,功耗还不到1W。”

这款器件原先是依据与美国DARPA的合约而开发的,主要安装于微型无人机上明。如今,Honeywell期望使该器件商用化,让这款微型真空泵可应用在各种移动设备上──从能够确定任何物质组成的质谱仪,到可提供超精确导航服务的原子钟──让手机与移动设备在拥有听觉(语音)、视觉(视讯)与触觉(触控)以外,现在还有了嗅觉。

Wei Yang强调,“最让我们感到兴奋之处在于它也能内建于智能手机中,让手机能真的拥有嗅觉,可以闻出有毒化学品、花粉与一般空气品质等任何物质与气味。它还能为用户持续累积暴露记录,提醒用户暴露于某个环境的时间与地点。”

由于目前的传感器主要依据化学反应,使其受限于特定的几种毒素侦测。事实上,针对每一种化学物质都必须采用不同的传感器来侦测,使其仅适用于特定目的(如一氧化碳或烟雾侦测器),而无法作为一种通用的嗅探器。然而,可内建于手机中的这种质谱仪能够侦测样本中的元素、各种储存于资料库中已知毒物的化学特性,以及同步搜寻比对最可能组合。

DARPA以及其他单位过去也曾经试图缩小质谱仪等电子分析仪。遗憾的是,这些芯片级的仪器仅在真空状态下才能有效隔离与分析样本。因此,Honeywell凭借缩小真空泵的方式,可说是突破了最后一道障碍,并为能嗅出几乎任何化学物质的手持式嗅探器应用开启了大门。

Wei Yang预期“在未来的十年,这一创新将为手持式移动设备迎来各种先进复杂的电子分析仪。” Honeywell得以成功实现这款号称全球最小真空泵的关键是在1公分大小的磁盘上制造出10万个微小涡轮叶片。Honeywell已经拥有可开发出微米级涡轮叶片的MEMS技术,还能在与其MEMS设备相同的设备上进行制造。每一个8 寸晶圆上大约可制造出几百个搭载这种涡轮叶片的磁盘。

“我们的MEMS真空泵延续Honeywell在MEMS技术上的长期发展经验。事实上,我们在制造这款真空泵时,采用的就是我们生产MEMS陀螺仪与流量传感器所用的相同光学微影制造与相同设备,”Wei Yang表示。

每个真空泵中包含两个磁盘──一个固定磁盘以及一个旋转磁盘,其上覆以10微米大小、类似涡轮的叶片。每一组叶片彼此相对,从而形成强大的吸附效果,以便在小型样本导入测试前先行清空测试腔。

DARPA已经将Honeywell的真空泵安装在微型无人机的行动分析仪了。Honeywell目前正致力于扩大其传感器网路,并提供内建手持单元的首款转发器。不过,据Wei Yang表示,最大的好处就是整合于智能手机等消费移动设备中。

“当每个人的手机中都安装了这种器件,可望实现追踪一切物质化学组成的未来──从空气品质到疾病控制,甚至化学药品。同时还能即时动态追踪任何化学物种,并在地图上观察其即时移动情形。”