从技术层面来看,MEMS技术突破了原有的以数字信号输出功能为主的限制,可以反过来使用,通过MEMS致动器,使其以模拟或物理的形式对外输出。
随着越来越多的汽车导入安全系统,在汽车中使用这些类型的感测器也正快速增加中。去年,这一类感测器市场成长了大约338%,达到9,200万美元的市场规模,较2011年的1,000万美元更大幅提升。
压力传感器在多种应用中用于控制与监测,今年料将成为销售情况最好的MEMS器件,力压加速计和陀螺仪等传统主流器件。其最大市场仍然是汽车,主要用于轮胎压力监测系统。
在汽车领域,MEMS压力传感器营业收入2013年预计达到12.6亿美元,占当年总体产业营业收入的74%,尽管未来几年汽车领域的增长势头将有所减弱,但该领域的营业收入仍将高于其它领域,2017年将占到总体产业营业收入的三分之二。
在北美、欧洲以及法规成熟的其它地方,如澳洲、日本、加拿大与南韩,都强制要求汽车採用ESC系统,随着越来越多的汽车导入安全系统,在汽车中使用复合式 MEMS 惯性感测器也正快速增加中。
在一些未开发的领域还存在庞大的商机,如中国提供了一个更大规模的市场,这将会明显影响到ESC在全球的渗透率。然而,从另一个角度来看,它也将为整体车用复合式感测器带来巨大的成长驱动力与动能。
汽车MEMS应用领域
MEMS(微机电系统)传感器;有三项MEMS技术产品:红外传感器、磁性传感器、测角传感器;在高档汽车中,大约采用25至40只MEMS传感器;
1)MEMS传感器的大批量高精度生产和高可靠性及单价廉价,特别适宜在汽车电控系统中应用;
2)安全气囊中的汽车安全气囊感应器;
3)MEMS汽车微加速度计正替代以往的机电式加速度传感器
4)MEMS陀螺仪在高端汽车中的应用包括:悬架控制、翻滚
5)汽车MEMS压力传感器和轮胎气压自动监测系统,MEMS压力传感器适合于任何类型的轮胎,在轮胎胎壁埋设一小块感压力敏芯片,自动测量轮胎气压、温度、转速和其它一些数据,并用特定的代码发送出来。
6)发动机管理系统中的MEMS应用
7)微机械陀螺是一种振动式角速率传感器,在汽车领域的应用开发倍受关注,主要用于汽车导航的GPS信号补偿和汽车底盘控制系统;
8)汽车电控燃油喷射系统EFI要使用多重压力MAP传感器,监测发动机进气歧绝对压力,提高其动力性能,降低油耗,减少废气排放。
9)微型硅压阻式MEMS压力传感器可用于发动机废气循环系统,替代陶瓷电容式压力传感器;
10)汽车空调压缩机中的压力测量也是MEMS的一个很大市场。
11)气缸内气压测量,爆缸控制;
12)燃油喷射系统,柴油共轨系统;
13)传动油压,变速自动控制;
14)制动油道油压,制动系统;
15)悬挂液压,悬挂系统;